Application decéramique iolite
1. Miroir carré de machine de lithographie
En tant qu'une des unités de base de la lithographie
machine, la précision du mouvement de la table de pièce ultra-précise sera
affectent directement la résolution de la machine de lithographie. Comme le noyau
composant de la pièce, le miroir carré offre une garantie pour le
précision et efficacité lithographique de la pièce. La charge thermique sur le
le miroir carré pendant le fonctionnement change constamment en raison du flux de chaleur dans
l'espace de travail, ce qui nécessite que la déformation change avec la température
le moins possible, et la distorsion provoquée par son fonctionnement à des températures plus élevées
les accélérations et les vitesses doivent être corrigées. Par conséquent, afin de répondre aux
exigences de précision de la lithographie, le coefficient de dilatation thermique du
le matériau du miroir carré doit atteindre une expansion proche de zéro au niveau du travail
température, et il doit également avoir de bonnes propriétés mécaniques. Iolite
Les céramiques sont des matériaux de miroirs carrés idéaux pour les machines de lithographie en raison de
leur faible coefficient de dilatation thermique, leurs excellentes propriétés mécaniques et
faible densité. ASML a réalisé l'application mature et la promotion d'iolite
céramiques dans les parties mobiles des machines de lithographie.
2. Miroirs optiques pour optique
communication
Iolite a les caractéristiques de faible
dilatation thermique, haute résistance mécanique et haute rigidité, longue durée
stabilité dimensionnelle et résistance aux radiations, et peut être appliqué à l'espace
communications optiques. Sony CSL a adopté les miroirs en céramique cordiérite Kyocera
pour les petits terminaux de communication laser de sécurité en orbite terrestre basse.
3. Matériaux réfractaires
En raison de son faible coefficient thermique
expansion, les céramiques iolite sont souvent utilisées comme matériaux d'encapsulation céramique
et les meubles du four pendant l'utilisation du four. En même temps, les céramiques iolite ont le
caractéristiques de faible densité, de faible conductivité thermique et de bonne stabilité à
températures élevées, et peut également être appliqué aux dispositifs d'échange de chaleur à vitesse rapide
changements de température, comme les casseroles résistantes à la chaleur. Il existe un grand nombre de
vides au milieu de l'anneau à six chaînons du cristal d'iolite et au milieu
de l'anneau à six chaînons adjacent, et cette structure cristalline lâche le rend
ont un très faible coefficient de dilatation thermique, qui peut être utilisé comme perte
revêtement réfractaire en mousse dans le processus de coulée, améliorant la précision du
fonderie.
