Le creuset en nitrure de bore est généralement composé de PBN. Les céramiques PBN offrent une bonne résistance à la chaleur, une bonne stabilité thermique, une conductivité thermique et une rigidité diélectrique à haute température, qui sont des matériaux de dissipation thermique idéaux et des matériaux d'isolation à haute température.
En raison de son excellente stabilité chimique, le PBN peut résister à l'érosion de la plupart des métaux en fusion. Avec les caractéristiques d'isolation à haute température, de conductivité thermique élevée et de faible dilatation thermique, il est plus approprié pour être utilisé dans des conditions environnementales difficiles telles que les conditions de fabrication des semi-conducteurs. Le creuset PBN est souvent utilisé pour faire fondre des métaux et des semi-conducteurs. Sa température de fonctionnement sous vide peut atteindre 1 800 ℃ et la température de fonctionnement maximale sous protection atmosphérique peut atteindre 2 100 ℃. Généralement, il est protégé par de l’azote ou de l’argon (la protection de l’atmosphère consiste à éviter l’oxydation du creuset).
1. Processus de fabrication :
(1) Le composé gazeux contenant du bore et le gaz contenant de l'azote sont soumis à une réaction de dépôt chimique en phase vapeur sur le noyau du moule chauffé dans des conditions sous vide pour obtenir le pré-revêtement ;
(2) Une fois le pré-revêtement obtenu, arrêtez la réaction de dépôt chimique en phase vapeur et maintenez la température inchangée ;
(3) Une fois la température constante maintenue, la réaction de dépôt chimique en phase vapeur se poursuit afin d'obtenir le creuset pyrolytique en nitrure de bore avec pré-revêtement ;
(4) Retirez le pré-revêtement pour obtenir le creuset pyrolytique en nitrure de bore.
2. Principales caractéristiques :
(1) Il présente une excellente stabilité chimique et thermique. Il n'a pas de réactions chimiques avec la plupart des métaux fondus et des semi-conducteurs à haute température ;
(2) Le creuset pyrolytique en nitrure de bore a une densité élevée sans pores ;
(3) Il peut être utilisé à plusieurs reprises et facile à nettoyer ;
(4) Il présente une anisotropie évidente des propriétés mécaniques, thermiques et électriques, ainsi qu'une bonne transmission des micro-ondes et de l'infrarouge ;
(5) De bonnes performances d'isolation à haute température sont bonnes.
3. Demande :
Étant donné que la production de creusets PBN ne nécessite pas de processus de frittage par presse à chaud traditionnel ni d'agent de frittage impliqué, elle a une pureté élevée (99,99 % ou plus). La température de fonctionnement sous vide peut atteindre 1 800 ℃ et la température de fonctionnement maximale sous protection atmosphérique peut atteindre 2 100 ℃ (généralement protégé par de l'azote ou de l'argon). De plus, en raison de la lenteur du dépôt, les creusets PBN sont assez chers et la plupart de leurs produits sont de petite taille.
